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Agilent VacIon Plus 55 離子泵抽速為 55 L/s，常用于通用超高和很高真空系統(tǒng)，用于真空電子設(shè)備、靈敏電子顯微鏡，以及在粒子加速器、同步加速器環(huán)和表面分析應(yīng)用中獲得 UHV 壓力。
安捷倫專有的三極離子泵元件為惰性氣體和氫氣提供了的抽速，并為甲烷、氬氣和氦氣提供了最高容量。提供光學(xué)擋板、集成加熱器和高壓真空通導(dǎo)件等選項，可輕松實現(xiàn)系統(tǒng)集成。
特性
Agilent VacIon Plus 55 離子泵可選擇三極離子泵、二極離子泵和惰性氣體二極離子泵抽氣單元，以為不同氣體提供最佳抽速
配備 ConFlat 4.5 英寸旋轉(zhuǎn)型或非旋轉(zhuǎn)型法蘭、額外 2.75 英寸 ConFlat 孔，可選不同方向的真空穿導(dǎo)件（Fischer、King、DESY、Varian、SHV 10kV (Safeconn)）
無活動部件，確保在高靈敏度應(yīng)用中無振動運行
低漏電流可提供穩(wěn)定的真空壓力讀數(shù)
低磁場可很大程度減少系統(tǒng)干擾
在 > 400 °C 的條件下進(jìn)行真空處理，并在真空下夾止，確保安裝前的清潔度和真空密封性
可定制不同的高壓真空穿導(dǎo)件、泵體幾何形狀、額外孔和抽氣單元布局，還可配備光學(xué)擋板、外部加熱器和屏蔽磁體，滿足您的需求
SEM 版本具有低漏電流和高穩(wěn)定性，可將電子干擾降至很低
可以根據(jù)您的具體需求添加特殊測試程序
性能指標(biāo)
加熱器電壓 |
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加熱器電源 |
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單元類型 |
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工作壽命 |
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抽氣口法蘭 |
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最大啟動壓力 |
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最高烘烤溫度 |
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極限真空 |
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真空高壓接頭類型 |
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重量（只有泵時） |
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工作原理
二極離子泵元件技術(shù)
二極離子泵由一個帶正電的陽極環(huán)元件和一個帶負(fù)電的鈦 (Ti) 陰極組成，它們浸沒在磁場中，使電子在生成的等離子體中撞擊周圍的氣體分子，從而產(chǎn)生正離子。較輕離子 (H2/He) 向陰極加速，穿透 Ti 層，而較重離子撞擊陰極，使 Ti 濺射，并覆蓋陽極環(huán)內(nèi)表面。H2、N2 和 O2 等可吸收氣體將與捕獲的 Ti 發(fā)生反應(yīng)。濺射和吸收效應(yīng)與二極離子泵的抽氣效應(yīng)同步。
三極離子泵元件技術(shù)
陰極無法捕獲惰性氣體（如氬氣），因此必須將它們傳輸?shù)疥枠O進(jìn)行泵送。這些原子有兩種傳輸方式：使用較重的陰極材料（鉭）或不同的幾何形狀（三極泵）。三極離子泵由安捷倫（原瓦里安）基于改進(jìn)的陰極幾何結(jié)構(gòu)發(fā)明。星形陰極增加了惰性氣體作為高能中性粒子傳輸?shù)母怕?，而鈦陰極可確保為 XHV 范圍內(nèi)的殘留氣體 H2 提供高抽速。
SEM 陽極設(shè)計
由于泵產(chǎn)生的離子流與真空度成正比，在許多應(yīng)用（如掃描電子顯微鏡 (SEM)）中，離子泵可用作真空計。由于泄漏電流會與離子流疊加，因此需要將其盡可能降低。為了降低泄漏電流，安捷倫申請了一項陽極設(shè)計，該設(shè)計減少了空體積、尖銳邊緣和金屬“晶須"。這些預(yù)防措施有助于保持極低的泄漏電流，確保更好的壓力讀數(shù)。
